品 名

化学符号

主 要 合 金 成 分

加 工 形 状

（可按要求加工）

铜：余 量

杂质元素%

铜钛合金

Cu-Ti

Ti 按要求配比

按要求标准执行（高纯级合金总杂质均≤100ppm）

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜硼合金

Cu-B

B 5-20±0.2

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜硅合金

Cu-Si

Si按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜铬合金

Cu-Cr

Cr按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜锰合金

Cu-Mn

Mn按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜锆合金

Cu-Zr

Zr按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜钴合金

Cu-Co

Co按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜镍合金

Cu-Ni

Ni按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜锡合金

Cu-Sn

Sn按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜铟合金

Cu-In

In按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜钒合金

Cu-V

V 5-15±0.1

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜锌合金

Cu-Zn

Zn 5-20±0.2

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜镓合金

Cu-Ga

Ga5-30±0.2

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜铟镓合金

Cu-In-Ga

按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜钇合金

Cu-Y

Y按要求配比

平面靶 台阶靶 矩形靶

铜锶合金

Cu-Sr

Sr5-5±0.2

平面靶 台阶靶 矩形靶

注：可根据客户要求生产非标产品及各种规格的产品