铝基合金
铝基合金
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主要 合 金 成 分（%） |
加 工 形 状 |
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Al ：余量 |
杂质元素 |
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铝钪合金 |
Al-Sc |
3N-4N |
Sc 2-20±0.2 |
按可按用户要求执行（高纯级合金总杂质均≤100ppm） |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝钇合金 |
Al-Y |
3N-4N |
Y5-30 ±0.5 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝饵合金 |
Al-Er |
3N-4N |
Er5-30 ±0.5 |
平面靶台阶靶 矩形靶 |
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铝锰合金 |
Al-Mn |
3N5-4N |
Mn5-30±0.2 |
平面靶台阶靶 矩形靶 |
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铝锆合金 |
Al-Zr |
3N-4N |
Zr5-15± 0.2 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝铈合金 |
Al-Ce |
3N-3N5 |
Ce5-20±0.3 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝锶合金 |
Al-Sr |
3N-4N |
Sr3-15±0.1 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝钛合金 |
Al-Ti |
3N5-4N |
Ti 按要求配比 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝硅合金 |
Al-Si |
3N5-4N |
Si 按要求配比 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝钒合金 |
Al-V |
3N-4N |
V按要求配比 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝铬合金 |
Al-Cr |
3N-4N |
Cr5-20±0.5 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝铪合金 |
Al-Hf |
3N-5N |
Hf2-20±0.2 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝钼合金 |
Al-Mo |
3N-4N |
Mo5-30±0.5 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝镍合金 |
Al-Ni |
3N-4N |
Ni5-40±0.5 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝钙合金 |
Al-Ca |
3N-4N |
Ca5-20±0.3 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝镁合金 |
Al-Mg |
3N5-4N5 |
Mg 按要求配比 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝锂合金 |
Al-Li |
3N-4N |
Li 10-60 ±0.5 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝铜合金 |
Al-Cu |
3N-4N |
Cu按要求配比 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝铌合金 |
Al-Nb |
3N-4N5 |
Nb 按要求配比 |
平面靶台阶靶矩形靶 |
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铝镓合金 |
Al-Ga |
3N-4N |
Ga 按要求配比 |
平面靶 台阶靶 矩形靶 |
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铝镁硅合金 |
Al-Mg-Si |
3N-4N |
按要求配比 |
平面靶 台阶靶 矩形靶 |
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铝硅铜合金 |
Al-Si-Cu |
3N-5N |
按要求配比 |
平面靶 台阶靶 矩形靶 |
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铝镁钪合金 |
Al-Mg-Sc |
3N-4N |
按要求配比 |
平面靶 台阶靶 矩形靶 |
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注：可根客户要求生产非标产品及各种规格的产品。 |
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